激光干涉仪的原理和说明


             干涉仪是很广泛的一类实验技术的总称,其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息,从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅仅局限于光干涉仪。干涉仪在天文学,光学,工程测量,海洋学,地震学,波谱分析,量子物理实验,遥感,雷达等等精密测量领域都有广泛应用。

激光干涉透射法检测元件厚度差的原理

    在激光干涉仪进行透射测量时,激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹,每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时,显示为暗条纹;当光程差为nλ+λ时,显示为亮条纹;所以,当被检元件的两个面不完全平行,存在楔角时,沿楔角方向,元件的厚度逐渐增大,相应的光程差也逐渐变大,沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。楔角越大,条纹越密集。


检测指标的简单说明:

    PV值在数学上的定义是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。单位是λ(波长)。对应到干涉仪透射检测上,就是被检元件的厚度差。 

    RMS值在数学上的定义是均方根值(root-mean-square),单位是λ(波长),这是一个统计值,RMS的大小反映了这些数据值的离散程度。对应到干涉仪透射检测上,RMS值越小表明被检元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。

    TTV值条纹根数是肉眼可见的被检元件厚度差的直观表现,与PV值成线性关系。条纹根数越少表明被检元件的厚度差越小。

    POWER值是测量物体上的最亮或最暗值。


速德瑞自主研发生产的激光干涉仪GBM01AGBM08A为更多用户提供了便利,使更多使用者可以快速并准确地检测所需的数值;那么这两款有哪些区别呢?请看以下对比参数:

序号

名称

GBM01A

GBM08A

1

测量原理

菲索干涉原理

菲索干涉原理

2

激光器

半导体激光器 635nm

半导体激光器 635nm 940nm

3

有效孔径

6.5mm

16.5mm (允许同时管控8个孔)

4

标准镜面形精度

0.05λ

0.05λ

5

面形值重复精度

PV 0.06λ(标准片)

PV 0.06λ(标准片)

6

面形值量程

PV 0~3λ

PV 0~3λ

7

测试时间

PV测试:1秒;

条纹数测试:1秒内

PV测试:1秒;

条纹数测试:1秒内

8

夹具

9

软件

PVmeter

PVmeter

10

电源

220V 60W

220V 60W

11

通讯接口

USB

USB

12

重量

25Kg

15Kg

13

自动化接口

预留

预留



速德瑞激光干涉仪不仅自主研发了仪器,而且使用软件也是我们研发的哦,我们的检测界面也是应有尽有,所要测的数据都经过算法直接得出来,而且还可以导出数据。