激光干涉仪 PV值测试


原理:在激光干涉仪进行透射测量时,激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹,每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时,显示为暗条纹;当光程差为nλ+λ时,显示为亮条纹;

参数:

序号

名称

激光干涉仪

1

测量原理

菲索干涉原理

2

激光器

半导体激光器635nm 940nm

3

有效孔径

30mm  (允许同时管控4个孔)

4

标准镜面形精度

0.05λ

5

面形值重复精度

PV 0.06λ(标准片)

6

面形值量程

PV 0~3λ

7

测试时间

PV测试:1秒;条纹数测试:1秒内

8

夹具

9

软件

PVmeter

10

电源

220V 60W

11

通讯接口

USB

12

重量

50Kg